LumaSense Technologies stellt bahnbrechende Lösung für die Temperaturmessung vor

..., die nie dagewesene Steigerung der Produktivität und Effizienz bei MOCVD-Prozessen in der LED-Produktion bedeutet

Santa Clara, CA, Frankfurt/M - - Neue UV-Pyrometrietechnologie vom führenden Unternehmen der Branche der Temperaturfühlung

LumaSense Technologies, Inc. hat die Pyrometer UV 400 und UVR 400 herausgebracht, die neuste Generation berührungsfreier Temperaturmessgeräte für Prozesse der Metal Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD) in der schnell wachsenden LED-Industrie. LEDs sind entscheidend als Lichtquellen für Mobilgeräte, Fernseher und weitere Produkte in der wachsenden Elektronikbranche, deren Umsatz 1,2 Billionen Dollar beträgt. UV 400 und UVR 400 sind auf einzigartige Weise in der Lage, Herstellern, die MOCVD-Verfahren nutzen, bei der LED-Produktion zu verbesserter Effizienz und verringertem Ausschuss zu verhelfen.

Die Pyrometer nutzen eine zentrale Wellenlänge im UV-Spektrum (400 nm) und ermöglichen die Messung der echten Oberflächentemperatur der Wafer. Herkömmliche Pyrometer hingegen sind lediglich in der Lage, die Temperatur der Aufnehmer bzw. Taschen unter dem Wafer zu messen. Dies ermöglicht akkurateste und wiederholbare Kontrolle der Wafertemperatur, die z. B. in der LED-Produktion für die endgültige Wellenlänge und die Herstellungsresultate entscheidend ist.
Die große Temperaturspanne von 650 bis 1300 Grad Celsius ermöglicht die Messung verschiedenster Anwendungen wie des Wachstums der GaN-Pufferschicht oder der multiplen Quantenquelle. Die schnelle Reaktionszeit von bis zu 8 ms ermöglicht die Messung schnell ablaufender Prozesse. Instrumentierung für echte Photonenzählung garantiert die besten erreichbaren Werte beim Verhältnis Signal/Rauschen und der Stabilität.

Das Pyrometer UVR 400 verfügt gegenüber dem UV 400 über ein Laser-Reflektometer mit 635 nm, das die Echtzeit-Messung der Dicke und Wachstumsrate der GaN-Schicht beim Epitaxiewachstum ermöglicht.

"LumaSense hat in der Halbleiterbranche mehr als 8.000 Systeme im Einsatz und fast 2.000 MOCVD-Werkzeuge im Einsatz. Wir sind in diesem Bereich zweifellos eine führende Kraft bei Temperaturinstrumenten", sagt Steve Abely , CEO von LumaSense Technologies Inc. "UV 400 und UVR 400 setzen jetzt den neuen weltweiten Standard bei MOCVD-Messgeräten. Die Instrumente haben belegt, dass ihre Temperaturmessungen eine verlässliche Korrelation zwischen der gemessenen Prozesstemperatur und der Wellenlänge des fertigen Produkts liefern. Dies wird unseren Kunden zu noch nicht dagewesenen Produktivitätszuwächsen und Effizienzverbesserungen verhelfen."

UV 400 und UVR 400 können zudem zusammen mit dem bewährten PhotriX-Pyrometer mit konzentrischem Lichtleiter von LumaSense genutzt werden, um zusätzlich die Reaktortemperatur zu kontrollieren. UV 400 und UVR 400 liefern allein oder zusammen mit dem PhotriX-Pyrometer die bestmöglichen Messdaten und Lösung zur Prozesskontrolle, wie auch die beste Produktqualität und gesteigerte Produktivität.