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Hochgenaue MEMS-Inertialsensoren mit hervorragender Auflösung

Hochgenaue MEMS-Inertialsensoren mit hervorragender Auflösung

07 Januar 2015

First Sensor AG präsentiert eine neue Technologieplattform zur Herstellung hochgenauer Inertialsensoren zur Messung von Neigung, Beschleunigung und Vibration. Die kapazitiven Sensoren basieren auf einkristallinen Silizium-Sensorelementen und neusten mikromechanischen Herstellungsverfahren. Die MEMS-Sensoren erreichen ein sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis sowie eine hervorragende Temperaturstabilität und erkennen schon kleinste Lage- oder Beschleunigungsänderungen. Die Mikrostrukturen mit großem Aspektverhältnis (HARMS) gewährleisten geringste Querempfindlichkeiten. Zusätzlich minimiert die patentierte AIM-Technologie (Air gap Insulated Microstructures) parasitäre Kapazitäten.

First Sensors hochgenaue Inertialsensoren bieten überlegene Leistungsmerkmale und ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis im Vergleich zu existierenden Lösungen. Die Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30 ° erreichen eine Rauschdichte kleiner 0,0004 °/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015 ° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Die Beschleunigungssensoren bieten Messbereiche von ±8 g und ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Alle MEMS-Inertialsensoren können auf Grund der modularen Technologie flexibel und kostengünstig an kundenspezifische Anforderungen angepasst werden. Das kapazitive Sensorelement und die ASIC-Signalverarbeitung sind in ein hermetisch abgeschlossenes SMD-Gehäuse für die platzsparende Leiterplattenmontage integriert. Zusätzlich stehen verschiedene Entwicklungsplatinen für die einfache und schnelle Auswertung der Sensorsignale zur Verfügung.

Die wichtigsten Merkmale der neuen Inertialsensoren:

  • Neueste mikromechanische Herstellungsverfahren (HARMS, AIM)
  • Sehr hohes Signal-Rausch-Verhältnis
  • Hervorragende Temperaturstabilität
  • Flexible kundenspezifische Anpassungen

First Sensors Neigungs- und Beschleunigungssensoren kommen in der Industrie, Gebäudetechnik, Luftfahrt und Medizintechnik zum Einsatz. Typische Anwendungen sind Geo-Engineering, Zustandsüberwachung, Navigation, Robotik sowie Systeme zur Ausrichtung, Positionierung und Nivellierung.

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