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Kosteneffizienter PPB Sauerstoff Analysator für Gasreinheit in Halbleiter Anwendungen

Kosteneffizienter PPB Sauerstoff Analysator für Gasreinheit in Halbleiter Anwendungen

09 November 2017

Michell Instruments bietet Kunden aus den Industriebereichen Halbleiter und Gasherstellung einen speziell geeigneten Spurensauerstoff Analysator an, der die Qualität von ultrahochreinen (UHP) Gasen sicherstellt.

Der Sauerstoff Analysator PI2-UHP von Analytical Industries, der Schwesterfirma von Michell in der Firmengruppe Process Sensing Technologies (PST), ist kosteneffektiv und top ausgestattet.

Mit einer unteren Nachweisgrenze von weniger als 100 PPT wurde er speziell für die Messung von Kontaminierungen durch Sauerstoffspuren in UHP Gasen entwickelt. Der Pico-Ion elektrochemische Sensor ist wartungsfrei und Routine Kalibrierungen sind dank der Auto-Kalibrierung und dem integrierten Aufbereitungssystem einfach und schnell durchzuführen. Die externe Zuführung von Elektrolyten ist nicht notwendig.

Zur Sicherstellung der vollständigen Freiheit von O2 im Nullgas, wurde ein Sauerstoff-Scrubber als Bestandteil  in das Aufbereitungssystems integriert. Ein Bypass-Vierwegeventil isoliert und schützt den Sensor vor hohen Sauerstoffgehalten während der Inbetriebnahme, bei der Umschaltung von Messlinien und während der Wartung.

Die Michell Instruments Gruppe ist weltweit führend im Bereich Instrumentierungslösungen für Taupunkt, relative Feuchte und Sauerstoffkonzentration. Mit 40 Jahren Erfahrung in Entwicklung und Herstellung von Sensoren, Messgeräten, Analysatoren und kundenspezifischen Lösungen für die Messung und Kalibrierung dieser wichtigen Größen, ist Michell Instruments in vielen Anwendungen und Industriezweigen täglich präsent – z.B. Automotive, Druckluft, Energieerzeugung, Petrochemie, Öl und Gas, Nahrungsmittel, Pharma, um nur einige zu nennen. Unsere innovativen Produkte machen Prozesse kostengünstiger, sauberer, energieeffizienter und sicherer.

Die Firmengruppe betreibt mehrere Fertigungsstandorte in Europa mit Hauptstandort in Ely, UK. Michell Instruments Sales und Service Center verteilen sich auf 11 Standorte weltweit, mit weiteren lokal vernetzten Standorten und Distributoren, die über ausgebildetes Vertriebs- und Servicepersonal zur direkten Unterstützung vor Ort in 56 Ländern präsent sind.

  • Michell Instruments GmbH
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